北京屹唐半导体请求热处理设备加热组件专利优化基板边际热功率可调性
来源:乐鱼电竞 发布时间:2025-05-13 13:38:54 金融界2025年1月31日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京屹唐半导体科技股份有限公司请求一项名为“热处理设备加热组件”的专利,揭露号CN 119381293 A,请求日期为2024年9月。 专利摘要显现,本揭露施行例供给一种热处理设备加热组件,其间,加热组件包含:榜首加热灯,多个榜首加热灯平行摆放,相邻的两个榜首加热灯之间具有榜首空隙;第二加热灯,多个第二加热灯设置于榜首空隙中,第二加热灯宣布的光线穿过榜首空隙对晶圆加热;其间,榜首加热灯为条形灯,第二加热灯为圆形灯。本揭露施行例的技能计划经过对加热灯组结构及散布阵列的改动,优化了基板边际的热功率的可调性,可以大大下降晶圆外表温度梯度;减少了热叠加、分散及热偏移引起的晶圆外表温度纷歧带来的温差;便于设备的装置,调试和保护,提升了硅片外表温度一致性及成膜厚度一致性。 天眼查资料显现,北京屹唐半导体科技股份有限公司,成立于2015年,坐落北京市,是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册本钱266000万人民币,实缴本钱266000万人民币。经过天眼查大数据分析,北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目173次,知识产权方面有商标信息15条,专利信息197条,此外企业还具有行政许可86个。